為貫徹落實《中共中央 國務院關于深入打好污染防治攻堅戰的意見》和《“十四五”節能減排綜合工作方案》(國發〔2021〕33號)，聚焦細顆粒(PM2.5)和臭氧(O3)協同控制，加快推進氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)協同減排，持續改善全省環境空氣質量，不斷滿足人民群眾的優美生態環境需要，廣東省生態環境廳組織開展了涉VOCs排放和工業爐窯污染治理專題專項研究，編制了《廣東省電子元件制造業揮發性有機物綜合整治技術指南》，現發布實施。
為貫徹《中華人民共和國環境保護法》、《中華人民共和國大氣污染防治法》、《廣東省大 氣污染防治條例》等法律、法規，落實《國務院辦公廳關于印發控制污染物排放許可制實施方案 的通知》(國辦發〔2016〕81 號)要求，防治環境污染，改善環境質量，指導和規范揮發性有 機物綜合整治工作，制定本指南。
本指南參考DB 4427 大氣污染物排放限值；GB 37822 揮發性有機物無組織排放控制標準；GB 33372 膠粘劑揮發性有機化合物限量；GB 38508 清洗劑揮發性有機化合物含量限值；GB 38507 油墨中可揮發性有機化合物(VOCs)含量的限值；HJ 1031 排污許可證申請與核發技術規范 電子工業；HJ 1093 蓄熱燃燒法工業有機廢氣治理工程技術規范；HJ 2026 吸附法工業有機廢氣治理工程技術規范；HJ 2027 催化燃燒法工業有機廢氣治理工程技術規范；GB/T 38597 低揮發性有機化合物含量涂料產品技術要求；GB/T 16157 固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法等文件編制而成。
本指南規定了電子元件制造業揮發性有機物綜合整治技術指南。
本指南適用于電子元器件制造企業(包括電子器件制造和電子元件及電子專用材料制造)揮 發性有機物(VOCs)排放控制相關技術要求，其中電子器件制造包括電子真空器件制造(3971)、 半導體分立器件制造(3972)、集成電路制造(3973)、顯示器件制造(3974)、半導體照明 器件制造(3975)、光電子器件制造(3976)以及其他電子器件制造(3979)；電子元件及電 子專用材料制造(3980)、電阻電容電感元件制造(3981)、電子電路制造(3982)、敏感元 件及傳感器制造(3983)、電聲器件及零件制造(3984)、電子專用材料制造(3985)以及其 他電子元件制造(3989)等。
污染預防技術：
(1)使用符合《膠粘劑揮發性有機化合物限量》(GB33372-2020)、《清洗劑揮發性有 機化合物含量限值》(GB38508-2020)、《油墨中可揮發性有機化合物(VOCs)含量的限值》 (GB38507-2020)要求的膠粘劑、清洗劑、油墨。 (2)采用水性、高固、能量固化油墨代替溶劑型油墨；鼓勵使用無溶劑涂料、輻射固化涂 料；電子產品制造推廣使用粉末、水性、輻射固化等涂料。 (3)電子產品制造推廣使用靜電噴涂等技術。 (4)采用自動化、智能化噴涂設備替代人工噴涂。
過程控制技術：
(1)清洗劑、清潔劑、油墨、膠粘劑、固化劑、溶劑、開油水、洗網水等 VOCs 物料應儲存于密閉的容器、包裝袋、儲罐、儲庫、料倉中。
(2)盛裝 VOCs 物料的容器應存放于室內，或存放于設置有雨棚、遮陽和防滲設施的專用 場地。盛裝 VOCs 物料的容器在非取用狀態時應加蓋、封口，保持密閉。
(3)液體 VOCs 物料應采用管道密閉輸送。采用非管道輸送方式轉移液態 VOCs 物料時， 應采用密閉容器或罐車。
(4)包封、灌封、線路印刷、防焊印刷、文字印刷、絲印、UV 固化、烤版、洗網、晾干、 調油、清洗等使用 VOCs 質量占比大于等于 10%物料的過程應采用密閉設備或在密閉空間內操作， 廢氣應排至 VOCs 廢氣收集處理系統；無法密閉的，應采取局部氣體收集措施，廢氣應排至 VOCs 廢氣收集處理系統。
(5)重點地區的實驗室，若涉及使用含揮發性有機物的化學品進行實驗，應使用通風櫥(柜) 或者進行局部氣體收集，廢氣應排至揮發性有機物廢氣收集處理系統。
(6)廢氣收集。 ①采用外部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠處的 VOCs 無組織排放位置，控制風速不低于 0.3m/s。 ②通風生產設備、操作工位、車間廠房等應在符合安全生產、職業衛生相關規定的前提下， 根據行業作業規程與標準、工業建筑及潔凈廠房通風設計規范等的要求，采用合理的通風量。廢 氣收集系統的輸送管道應密閉。 ③廢氣收集系統應在負壓下運行，若處于正壓狀態，應對管道組件的密封點進行泄漏檢測， 泄漏檢測值不應超過 500μmol/mol，亦不應有感官可察覺泄漏。 ④無塵等級要求車間需設置成正壓的，推薦采用內層正壓、外層微負壓的雙層整體密閉收集 空間。⑤廢氣收集系統應與生產工藝設備同步運行。廢氣收集系統發生故障或檢修時，對應的生產 工藝設備應停止運行，待檢修完畢后同步投入使用；生產工藝設備不能停止運行或不能及時停止 運行的，應設置廢氣應急處理設施或采取其他代替措施。
(7)載有 VOCs 物料的設備及其管道在開停工(車)、檢維修和清洗時，應在退料階段將 殘存物料退凈，并用密閉容器盛裝，退料過程廢氣應排至 VOCs 廢氣收集處理系統；清洗及吹掃 過程排氣應排至 VOCs 廢氣收集處理系統。
末端治理：
(1)有機廢氣分類收集、分質處理，水溶性組分占比較大的有機廢氣宜采用含水噴淋吸收 的組合技術處理；非水溶組分有機廢氣宜采用熱氧化或其他組合技術進行處理。
(2)若采用活性炭吸附技術，采用顆粒活性炭作為吸附劑時，其碘值不宜低于 800mg/g； 采用蜂窩活性炭作為吸附劑時，其碘值不宜低于 650mg/g；采用活性炭纖維作為吸附劑時，其 比表面積不低于 1100m2/g(BET 法)。其工作溫度和濕度應符合：溫度 T<40℃、濕度 RH<60%； 活性炭表面不應有積塵和積水；活性炭吸附箱是否足額裝填活性炭(1 噸活性炭通常只能吸附 0.1~0.2 噸 VOCs，根據 VOCs 產生量推算需使用的活性炭，以活性炭購買記錄(含發票、合同 等)、危廢合同、轉移聯單和危廢間暫存量佐證其活性炭更換量)；箱體內氣流走向及碳床鋪設 應符合《吸附法工業有機廢氣治理工程技術規范》(HJ2026- 2013)。在確保活性炭無積塵無 潮濕的情況下，可采用 VOCs 速測儀測處理前后濃度的方法快速判斷活性炭是否飽和(處理后濃 度高于處理前濃度，即活性炭已達到飽和狀態)。
(3)設置高效的顆粒物(漆渣、粉塵)去除系統，治理設施內無肉眼可見的顆粒物(漆渣、 粉塵)。
(4)排放水平。①車間或生產設施排氣筒廢氣排放濃度不高于相應行業排放標準濃度限值(無行業排放標準 的執行 DB4427-2001 第Ⅱ時段限值)；若環評審批或排污許可證都是核發的《大氣污染物排放 限值》(DB4427-2001)第Ⅱ時段排放限值 100%，建議取兩者中最嚴值執行；車間或生產設施 排氣中 NMHC 初始排放速率≥3kg/h 時，建設 VOCs 處理設施且處理效率≥80%，采用的原輔材 料符合國家有關低 VOCs 含量產品規定的除外。 ②根據《廣東省生態環境廳關于實施廠區內揮發性有機物無組織排放監控要求的通告》(粵 環發〔2021〕4 號)，企業廠區內無組織排放監控點濃度執行《揮發性有機物無組織排放控制標 準》(GB37822-2019)特別排放限值。
